Polishing liquid, polishing method, component manufacturing method, and semiconductor component manufacturing method

WO2024089850 Art A1 2. Mai 2024

Anmelder: RESONAC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024089850
Aktenzeichen
EP22963497
Anmeldetag
27. Oktober 2022
Veröffentlichung
2. Mai 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
RESONAC CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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