Control method, control device, lithography device, and article manufacturing method

WO2024090126 Art A1 2. Mai 2024

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024090126
Aktenzeichen: EP23882335
Anmeldetag: 28. September 2023
Veröffentlichung: 2. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05B13/02G06N3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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