Particle Contamination Control in A Plasma Afterglow

WO2024091357 Art A2 2. Mai 2024

Anmelder: UNIVERSITY OF IOWA RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024091357
Aktenzeichen: EP23874088
Anmeldetag: 21. September 2023
Veröffentlichung: 2. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UNIVERSITY OF IOWA RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Iowa Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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