Silicon Carbide Direct Silicon Surface Polish
WO2024091508
Art A1
2. Mai 2024
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024091508
- Aktenzeichen
- EP23883388
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24D18/00B24D11/00B24D3/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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