Cooling system for a linear actuator

WO2024094386 Art A1 10. Mai 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024094386
Aktenzeichen: EP23787069
Anmeldetag: 7. Oktober 2023
Veröffentlichung: 10. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H02K9/22H02K41/03G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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