Molybdenum precursor compound, method for producing same, and method for depositing molybdenum-containing thin film using same

WO2024096493 Art A1 10. Mai 2024

Anmelder: UP CHEMICAL CO., LTD., SK HYNIX INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024096493
Aktenzeichen
EP23886189
Anmeldetag
30. Oktober 2023
Veröffentlichung
10. Mai 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/455C23C16/34C23C16/40C23C16/18C07F11/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
UP CHEMICAL CO., LTD.
SK HYNIX INC.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 SK hynix

Südkoreanischer Halbleiterhersteller, der Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash für Computer, Server und mobile Geräte produziert.

136 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von

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