Methods and systems for monitoring metrology fleet productivity
WO2024097569
Art A1
10. Mai 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024097569
- Aktenzeichen
- EP23886817
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01N21/95G01N23/20G01B11/27H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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