Methods for maintaining stable high resistivity of soi wafers

WO2024097891 Art A2 10. Mai 2024

Anmelder: MURATA MANUFACTURING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024097891
Aktenzeichen: EP23818189
Anmeldetag: 2. November 2023
Veröffentlichung: 10. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/322H01L23/00H01L27/12H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Manufacturing

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Kyoto. Murata entwickelt und produziert elektronische Bauelemente wie Kondensatoren, Sensoren und Kommunikationsmodule für Elektronikgeräte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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