Production control method for a projection exposure apparatus, projection exposure apparatus, and projection exposure method

WO2024099795 Art A1 16. Mai 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024099795
Aktenzeichen: EP23798913
Anmeldetag: 27. Oktober 2023
Veröffentlichung: 16. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G01B9/02056

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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