Wafer transfer device

WO2024100701 Art A1 16. Mai 2024

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024100701
Aktenzeichen
EP22964633
Anmeldetag
7. November 2022
Veröffentlichung
16. Mai 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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