Gas laser device, and method for manufacturing electronic device

WO2024100848 Art A1 16. Mai 2024

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024100848
Aktenzeichen: EP22965173
Anmeldetag: 10. November 2022
Veröffentlichung: 16. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/105G02B7/198G02B26/08G03F7/20H01L21/027H01S3/00H01S3/137H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von