Semiconductor epitaxial substrate manufacturing method, semiconductor epitaxial substrate, and semiconductor device
WO2024100958
Art A1
16. Mai 2024
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024100958
- Aktenzeichen
- EP23888313
- Anmeldetag
- 24. August 2023
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205C30B29/36H01L21/329H01L29/47H01L29/872
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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