Active-ray-sensitive or radioactive-ray-sensitive resin composition, active-ray-sensitive or radioactive-ray-sensitive film, pattern formation method, and electronic device manufacturing method

WO2024101378 Art A1 16. Mai 2024

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024101378
Aktenzeichen
EP23888725
Anmeldetag
8. November 2023
Veröffentlichung
16. Mai 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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