Baugruppe eines Optischen Systems

WO2024104727 Art A1 23. Mai 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024104727
Aktenzeichen: EP23805468
Anmeldetag: 23. Oktober 2023
Veröffentlichung: 23. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02B7/00G02B7/18G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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