Verfahren zur Ermittlung von Bildfehlern Hochauflösender Abbildungssysteme Per Wellenfrontmessung

WO2024104806 Art A1 23. Mai 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024104806
Aktenzeichen: EP23802180
Anmeldetag: 6. November 2023
Veröffentlichung: 23. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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