Cleaning device and method for removing contamination particles from a surface to be cleaned

WO2024104855 Art A1 23. Mai 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024104855
Aktenzeichen: EP23805499
Anmeldetag: 8. November 2023
Veröffentlichung: 23. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00B08B6/00H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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