Discharge electrode, production method for discharge electrode, and production method for electronic device

WO2024105833 Art A1 23. Mai 2024

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024105833
Aktenzeichen
EP22965809
Anmeldetag
16. November 2022
Veröffentlichung
23. Mai 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01S3/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
GIGAPHOTON INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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