Single-cell scatterometry overlay with sensitivity calibration
WO2024107366
Art A1
23. Mai 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024107366
- Aktenzeichen
- EP23892214
- Anmeldetag
- 8. November 2023
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B11/27G01N21/47G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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