Method and source modul for generating broadband radiation

WO2024110124 Art A1 30. Mai 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024110124
Aktenzeichen: EP23789679
Anmeldetag: 18. Oktober 2023
Veröffentlichung: 30. Mai 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/35G02F1/355

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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