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WO2024112573 Art A1 30. Mai 2024

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024112573
Aktenzeichen
EP23895269
Anmeldetag
17. November 2023
Veröffentlichung
30. Mai 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G05B19/418H04L9/00H04L9/08H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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