Electrostatic clamp, gripper assembly including the clamp, lithographic system comprising an electrostatic clamp, and method of making an electrostatic clamp

WO2024115033 Art A1 6. Juni 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024115033
Aktenzeichen: EP23798802
Anmeldetag: 2. November 2023
Veröffentlichung: 6. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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