Method for three-dimensional determination of an aerial image of a measurement object with the aid of a metrology system and metrology system for carrying out the determination method

WO2024115173 Art A1 6. Juni 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024115173
Aktenzeichen: EP23810308
Anmeldetag: 20. November 2023
Veröffentlichung: 6. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01M11/02G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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