A fluid handling system, method and lithographic apparatus

WO2024115207 Art A1 6. Juni 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024115207
Aktenzeichen: EP23809254
Anmeldetag: 21. November 2023
Veröffentlichung: 6. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N29/032

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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