Actuator array, particularly for substrate table and lithographic apparatus, and piezoelectric actuator control circuit arrangement

WO2024115254 Art A1 6. Juni 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024115254
Aktenzeichen: EP23809263
Anmeldetag: 23. November 2023
Veröffentlichung: 6. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H10N30/80H02N2/06G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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