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WO2024116625 Art A1 6. Juni 2024

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024116625
Aktenzeichen
EP23897283
Anmeldetag
17. Oktober 2023
Veröffentlichung
6. Juni 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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