Print Check Repeater Defect Detection
WO2024118350
Art A1
6. Juni 2024
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024118350
- Aktenzeichen
- EP23898567
- Anmeldetag
- 17. November 2023
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/84G03F7/20G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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