Systems and methods for sequential and parallel optical detection of alignment marks

WO2024120738 Art A1 13. Juni 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024120738
Aktenzeichen: EP23806189
Anmeldetag: 9. November 2023
Veröffentlichung: 13. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B6/12G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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