Vacuum chambers for cold field emission electron sources

WO2024120878 Art A1 13. Juni 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024120878
Aktenzeichen: EP23814376
Anmeldetag: 27. November 2023
Veröffentlichung: 13. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H01J9/39H01J7/18H01J37/16H01J3/02H01J37/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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