Light source device and film thickness adjustment mechanism

WO2024122179 Art A1 13. Juni 2024

Anmelder: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024122179
Aktenzeichen
EP23900301
Anmeldetag
11. Oktober 2023
Veröffentlichung
13. Juni 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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