Resist composition and method for producing same

WO2024122460 Art A1 13. Juni 2024

Anmelder: NIPPON SHOKUBAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024122460
Aktenzeichen
EP23900575
Anmeldetag
1. Dezember 2023
Veröffentlichung
13. Juni 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C07F5/02C07F7/22G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIPPON SHOKUBAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nippon Shokubai

Japanisches Chemieunternehmen, das unter anderem Acrylsäure, Superabsorber und Katalysatoren für die Industrie produziert.

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