Verfahren zum Testen der Widerstandsfähigkeit von Halbleiterscheiben aus Einkristallinem Silizium gegen Thermisch Induzierte Versetzungen

WO2024126089 Art A1 20. Juni 2024

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024126089
Aktenzeichen
EP23817979
Anmeldetag
1. Dezember 2023
Veröffentlichung
20. Juni 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SILTRONIC AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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