Interferometervorrichtung zur Vermessung einer Oberfläche, Verfahren zur Interferometrischen Vermessung einer Oberfläche und Lithografiesystem

WO2024126205 Art A1 20. Juni 2024

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024126205
Aktenzeichen: EP23821213
Anmeldetag: 6. Dezember 2023
Veröffentlichung: 20. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02001G01B9/02056G01M11/00G02B5/10G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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