Object holding device, exposure device, object moving method, and object holding system

WO2024128069 Art A1 20. Juni 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024128069
Aktenzeichen: EP23903358
Anmeldetag: 5. Dezember 2023
Veröffentlichung: 20. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/03G03F7/20H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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