Organometallic chemical vapor deposition-based method for wafer-level manufacturing selenide tin thin film

WO2024128412 Art A1 20. Juni 2024

Anmelder: UNIST(ULSAN NATIONAL INSTITUTE OF SCIENCE AND TECH 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024128412
Aktenzeichen
EP23903618
Anmeldetag
21. Februar 2023
Veröffentlichung
20. Juni 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02C30B25/16C30B29/46C30B25/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
UNIST(ULSAN NATIONAL INSTITUTE OF SCIENCE AND TECH
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology)

UNIST (Ulsan National Institute of Science and Technology) ist eine staatliche südkoreanische Technische Universität in Ulsan. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Software, ergänzt um Medizintechnik und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2018 bis 2025 betreffen unter anderem Dünnschichtverfahren für Katalysatormaterialien.

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