Compound orifice inlet nozzle for tuning flow from gas distribution showerheads

WO2024129248 Art A1 20. Juni 2024

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024129248
Aktenzeichen: EP23904235
Anmeldetag: 27. Oktober 2023
Veröffentlichung: 20. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/458C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von