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WO2024132310 Art A1 27. Juni 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024132310
Aktenzeichen
EP23806290
Anmeldetag
16. November 2023
Veröffentlichung
27. Juni 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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