Laser processing apparatus, method for controlling laser processing apparatus, and method for manufacturing electronic device

WO2024134791 Art A1 27. Juni 2024

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024134791
Aktenzeichen: EP22969179
Anmeldetag: 20. Dezember 2022
Veröffentlichung: 27. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: B23K26/067B23K26/066B23K26/382

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von