Measurement method and charged particle beam device

WO2024134800 Art A1 27. Juni 2024

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024134800
Aktenzeichen: EP22968749
Anmeldetag: 21. Dezember 2022
Veröffentlichung: 27. Juni 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G01R1/067G01R31/28G01B15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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