Semiconductor production apparatus, semiconductor production plant, and semiconductor production method

WO2024135055 Art A1 27. Juni 2024

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024135055
Aktenzeichen
EP23906430
Anmeldetag
11. Oktober 2023
Veröffentlichung
27. Juni 2024
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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