Method to generate an acceleration setpoint profile for a movable object, setpoint generator and lithographic apparatus

WO2024141209 Art A1 4. Juli 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024141209
Aktenzeichen: EP23821516
Anmeldetag: 27. November 2023
Veröffentlichung: 4. Juli 2024
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G05B19/416

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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