Apparatuses and methods for extreme ultraviolet light source utilizing thermally induced breakup of target material stream

WO2024141345 Art A1 4. Juli 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024141345
Aktenzeichen: EP23836755
Anmeldetag: 19. Dezember 2023
Veröffentlichung: 4. Juli 2024
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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