Substrate holder and substrate processing apparatus
WO2024142367
Art A1
4. Juli 2024
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024142367
- Aktenzeichen
- EP22970155
- Anmeldetag
- 28. Dezember 2022
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C25D17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.