Polishing head and polishing device

WO2024142636 Art A1 4. Juli 2024

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024142636
Aktenzeichen: EP23911419
Anmeldetag: 14. November 2023
Veröffentlichung: 4. Juli 2024
Rechtsraum: WO
IPC: B24B41/047B24B21/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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