Measurement device, measurement system, and method for erecting structure

WO2024143366 Art A1 4. Juli 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024143366
Aktenzeichen
EP23912145
Anmeldetag
26. Dezember 2023
Veröffentlichung
4. Juli 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G01B7/16E04B1/58E04G21/14E04G21/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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