Film formation device

WO2024143399 Art A1 4. Juli 2024

Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024143399
Aktenzeichen
EP23912177
Anmeldetag
26. Dezember 2023
Veröffentlichung
4. Juli 2024
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/32H01L21/363
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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