Film formation device
WO2024143399
Art A1
4. Juli 2024
Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2024143399
- Aktenzeichen
- EP23912177
- Anmeldetag
- 26. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2024
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/32H01L21/363
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Heavy Industries
Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.
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Vertreten von
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