Substrate processing apparatus and substrate processing method

WO2024144129 Art A1 4. Juli 2024

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024144129
Aktenzeichen: EP23912804
Anmeldetag: 22. Dezember 2023
Veröffentlichung: 4. Juli 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/458C23C16/46C23C16/50C23C16/455H01J37/32H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

276 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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