Selective metal selectivity improvement with rf pulsing

WO2024147998 Art A1 11. Juli 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024147998
Aktenzeichen: EP24738806
Anmeldetag: 2. Januar 2024
Veröffentlichung: 11. Juli 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/02C23C16/06C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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