Active light-sensitive or radiation-sensitive resin composition, resist film, pattern formation method, and electronic device production method

WO2024150663 Art A1 18. Juli 2024

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024150663
Aktenzeichen
EP23916277
Anmeldetag
25. Dezember 2023
Veröffentlichung
18. Juli 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C08F20/10G03F7/20G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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