Metal oxy-fluoride coating for chamber components and method of coating thereof

WO2024151748 Art A1 18. Juli 2024

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2024151748
Aktenzeichen: EP24741957
Anmeldetag: 10. Januar 2024
Veröffentlichung: 18. Juli 2024
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C14/35C23C16/18C23C14/06C23C14/56C23C16/54C23C16/56C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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