Control conductivity of polyimide film by irradiation for rtc application

WO2024153429 Art A1 25. Juli 2024

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2024153429
Aktenzeichen
EP23861714
Anmeldetag
19. Dezember 2023
Veröffentlichung
25. Juli 2024
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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